포토공정이란?웨이퍼 상의 회로 패턴을 구현하기 위한 공정입니다. 반도체는 미세화(Scailing)될수록 반도체의 성능이 향상합니다. 포토공정을 통해 회로패턴을 구현하며 이로 인해 반도체가 미세하게 형성될 수 있습니다. 반도체 기사를 보다보면 DUV, EUV와 같은 용어를 볼 수 있는데 DUV, EUV는 포토공정시 사용하는 광원의 명칭이며 빛의 파장이 짧을수록(EUV =13.5nm, DUV =1nn, 2nn nm) 더 미세한 패턴을 형성할 수 있기에 중요한 공정과정 중 하나입니다.포토 공정의 공정 순서 7단계1단계 : HMDS 처리HMDS처리 목적 : 웨이퍼는 친수성, PR은 소수성의 특징을 갖습니다. 친수성 소수성은 잘 부착되지 않습니다. 이를 해결하기 위해 웨이퍼에 HMDS 처리를 통해 웨이퍼를 친..
